• 2023-12-16
    半导体中影响粒子植入的最主要的因素离子注入已经成为半导体生产工艺中不可缺少的手段。利用离子注入可以很方便地实现半导体掺杂,且与传统的掺杂工艺相比具有很多优点,如:①离子注入可以有效注入多种元素的离子,并且不受杂质固溶度的影响。②离子注入可以在指定位置和深度引入杂...

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