• 2023-11-02
    什么是微纳直写光刻专利名称:利用微纳光纤进行直写光刻的方法技术领域:本发明属于微纳加工技术领域,尤其涉及一种利用微纳光纤进行直写光刻的方法。背景技术:现在科技的发展对微米级别尤其是亚微米级别的加工技术有迫切的需要,比如集成电路的制造、微纳光子学器件的制造、高密度存储设备的制造、MEMS器件...

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